 | • レポートコード：QY-SR25SP2914 • 出版社/出版日：QYResearch / 2025年8月 • レポート形態：英文、PDF、73ページ • 納品方法：Eメール（ご注文後3営業日） • 産業分類：電子機器&半導体 |
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レポート概要
2024年のグローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模はUS$ 18億6,400万ドルであり、2025年から2031年の予測期間中に年平均成長率（CAGR）12.5％で成長し、2031年にはUS$ 38億4,600万ドルに拡大すると予測されています。
2025年までに、米国関税政策の動向は世界経済に大きな不確実性をもたらす可能性があります。本報告書では、最新の米国関税措置と世界各地域の対応策を分析し、EUVマスク欠陥検査装置市場の競争力、地域経済のパフォーマンス、サプライチェーンの構成への影響を評価します。
マスク（フォトマスクまたはレチクルとも呼ばれる）は、マイクロエレクトロニクス加工技術で広く使用されるリソグラフィプロセスにおけるグラフィックマスターです。グラフィック情報を保持するキャリアとして、マスクは露光プロセスを通じてグラフィックを基材に転写し、グラフィックの転写を実現します。
マスク欠陥検出は、半導体リソグラフィプロセスにおける重要な工程であり、マスクを検査し、その上の欠陥を特定・修復することを目的としています。リソグラフィプロセスにおける重要な部品として、マスクはウェハに回路パターンを正確に転写する役割を担っており、その品質はウェハパターンの精度と最終製品の性能に直接影響します。欠陥には、粒子汚染、パターン断線、ブリッジング問題、マスク材料自体の欠陥など、さまざまな種類があります。
EUVマスク欠陥検出装置は、先端半導体プロセス技術において重要な役割を果たす特殊な装置です。EUV露光技術が要求する高い精度のため、マスク上の最も小さな欠陥でもウェハ上の回路パターンの品質に重大な影響を及ぼし、チップの性能と歩留まりに悪影響を及ぼす可能性があります。したがって、EUVマスクを厳格に検査するための特殊な検出装置の使用は、半導体製造の品質を確保するための不可欠な重要な工程です。
現在、半導体検査技術では光学検査が主流です。半導体光学検査には、パターン検査、非パターン検査、マスク検査の3種類があります。そのうち、パターン欠陥検査は明視野検査と暗視野検査に分類されます。どちらも光学信号を通じて分析されますが、明視野は垂直に反射した光信号であり、暗視野は散乱光信号である点が異なります。
半導体リソグラフィプロセスでは、異なるマスクに対応する光源を使用する必要があります。マスクの用途は多岐にわたり、一般的にはバイナリマスク、フェーズシフトマスク、EUVマスクに分類されます。EUVマスクは、EUV（極端紫外線）リソグラフィ技術専用に設計された新しいタイプのマスクです。EUVの極めて短い波長と、多様な材料に容易に吸収される特性のため、レンズなどの従来の屈折要素は使用できません。代わりに、ブラッグの法則に基づき、多層（ML）構造を通じて光線の反射を実現します（EUVとは異なり、DUVは透過光を使用します）。このタイプのマスクは、7nm、5nm、3nm、2nm（TSMCは2025年に量産予定）の高性能製造プロセスで広く採用されています。
現在、マスク検出技術は主に光学検出とSEM検出です。そのうち、光学検査企業は主にLasertecとKLA、SEM検査はAdvantestです。下流の応用分野では、マスクにPellicleを使用する場合、EUVマスク検査装置が必要となります（つまり、EUV露光装置がある限り、EUV検査装置を使用する必要があります）。ただし、現在、下流の最終製品メーカーが使用するすべてのEUVマスクにPellicleが採用されているわけではありません。
DUV露光や光学マスク技術では、ペリクルが重要な役割を果たします。マスク検査装置は193nmの露光波長で動作し、このフィルム層を通じて検査を行います。ウェハファブでは、これは直接的で効率的なプロセスです。しかし、極端紫外線（EUV）露光技術では、マスクの製造プロセスは専用のマスク工場で実施する必要があります。この段階では、高解像度システムが必要となるため、マスクの検査がより複雑になります。ウェハ製造工場の環境では、マスクを粒子汚染から保護しつつ、検査システムがこのペリクル層を通過して動作できるように、ペリクル層を使用することが理想的です。欠陥がない場合は作業を継続できますが、欠陥が検出された場合はペリクルを剥離し、マスクをマスク工場に送って清掃する必要があります。
EUVマスク欠陥検出装置は主にマスクショップとファブで使用されます。ファブにはマスク製造ラインとウェハ製造ラインが含まれます。ファブにおいてEUVマスク欠陥検出装置を使用する主な理由は2つあります。まず、ペリクルがマスクに貼り付けられると、EUV検出装置以外の他の装置（電子線やDUV装置など）は高感度検出効果を実現するのが困難になります。これは、ペリクルの存在がこれらの装置の検出能力を妨げ、小さな欠陥を正確に識別するのが困難になるためです。第二に、EUV検出装置は検出精度が高く、従来のDUVマスク検出方法では捕捉できない欠陥や粒子を検出可能です。マスクショップは従来から比較的大きなシェアを占めており、2023年には約61%に達しました。しかし、小型化・高度なプロセスノードの商業化が加速する中、ファブのシェアは2030年までに42%に達すると予想されています。
現在、EUVマスク欠陥検出装置市場は主にKLAとLasertecが独占しています。EUVマスク欠陥検出装置は高精度で高度な装置であり、納期が長い特徴があります。例えば、Lasertecの納期は2年です。今後数年間、両社の独占状態は継続すると予想されます。
グローバルなEUVマスク欠陥検査装置市場は、企業、地域（国）、タイプ、およびアプリケーション別に戦略的にセグメント化されています。本レポートは、2020年から2031年までの地域別、タイプ別、アプリケーション別の販売、収益、予測に関するデータ駆動型の洞察を通じて、ステークホルダーが新興の機会を活かし、製品戦略を最適化し、競合他社を凌駕するのを支援します。
市場セグメンテーション
企業別:
Lasertec
KLA-テンコール
アドバンテスト
アプライド マテリアルズ
ヌフレア
Lasertec
種類別: (主要セグメント vs 高利益率イノベーション)
5-7nmプロセス
3nm以下プロセス
用途別: (主要な需要ドライバー vs 新興の機会)
マスク製造
ファブ
地域別
マクロ地域分析：市場規模と成長予測
– 北米
– ヨーロッパ
– アジア太平洋
– 南米
– 中東・アフリカ
マイクロローカル市場の詳細分析：戦略的洞察
– 競争環境：主要企業の支配力 vs. ディスラプター（例：ヨーロッパのLasertec）
– 新興製品トレンド：5-7nmプロセス採用 vs. 3nm以下プロセスのプレミアム化
– 需要側の動向：中国のマスクショップの成長 vs. アメリカのファブポテンシャル
– 地域別の消費者ニーズ：EUの規制障壁 vs. インドの価格感応度
重点市場：
米国
日本
(追加地域はクライアントのニーズに応じてカスタマイズ可能です。)
章の構成
第1章：報告の範囲、執行要約、および市場進化シナリオ（短期/中期/長期）。
第2章：EUVマスク欠陥検査装置市場の規模と成長ポテンシャルの定量分析（グローバル、地域、国別レベル）。
第3章：メーカーの競合ベンチマーク（売上高、市場シェア、M&A、研究開発の重点分野）。
第4章：タイプ別セグメンテーション分析 – ブルーオーシャン市場の発見（例：中国における3nm以下のプロセス）。
第5章：アプリケーション別セグメンテーション分析 – 高成長のダウンストリーム機会（例：インドのファブ）。
第6章：地域別売上高と収益の企業別、種類別、用途別、顧客別内訳。
第7章：主要メーカーのプロファイル – 財務状況、製品ポートフォリオ、戦略的動向。
第8章：市場動向 – 成長要因、制約要因、規制影響、およびリスク軽減戦略。
第9章：実践的な結論と戦略的推奨事項。
このレポートの意義は？
一般的なグローバル市場レポートとは異なり、本調査はマクロレベルの業界動向とハイパーローカルなオペレーションインテリジェンスを組み合わせ、EUVマスク欠陥検査装置のバリューチェーン全体でデータ駆動型の意思決定を支援します。具体的には以下の点をカバーしています：
– 地域別の市場参入リスク/機会
– 地域ごとの現地慣行に基づく製品ミックスの最適化
– 分散型市場と統合型市場における競合他社の戦略
1 市場概要
1.1 EUVマスク欠陥検査装置の製品範囲
1.2 EUVマスク欠陥検査装置のタイプ別分類
1.2.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（種類別）（2020年、2024年、2031年）
1.2.2 5-7nmプロセス
1.2.3 3nm以下プロセス
1.3 EUVマスク欠陥検査装置の用途別分類
1.3.1 用途別グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売比較（2020年、2024年、2031年）
1.3.2 マスクショップ
1.3.3 ファブ
1.4 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模予測（2020-2031）
1.4.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模の価値成長率（2020-2031）
1.4.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模（数量成長率）（2020-2031）
1.4.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格動向（2020-2031）
1.5 仮定と制限
2 地域別市場規模と展望
2.1 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模：2020年対2024年対2031年
2.2 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置の過去市場動向（2020-2025）
2.2.1 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア（2020-2025）
2.2.2 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（2020-2025）
2.3 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模推計と予測（2026-2031）
2.3.1 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売量予測（2026-2031年）
2.3.2 地域別グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高予測（2026-2031年）
2.4 主要地域と新興市場分析
2.4.1 米国EUVマスク欠陥検査装置市場規模と展望（2020-2031）
2.4.2 日本のEUVマスク欠陥検査装置市場規模と展望（2020-2031）
3 グローバル市場規模（タイプ別）
3.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置のタイプ別歴史的市場動向（2020-2025）
3.1.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（タイプ別）（2020-2025）
3.1.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（タイプ別）（2020-2025）
3.1.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（タイプ別）（2020-2025）
3.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模予測（2026-2031年）
3.2.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高予測（種類別）（2026-2031）
3.2.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高予測（種類別）（2026-2031年）
3.2.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格予測（種類別）（2026-2031）
3.3 EUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー（種類別）
4 グローバル市場規模（用途別）
4.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置のアプリケーション別歴史的市場動向（2020-2025）
4.1.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（2020-2025）
4.1.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（2020-2025）
4.1.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（用途別）（2020-2025）
4.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模予測（2026-2031年）
4.2.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上予測（用途別）（2026-2031）
4.2.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高予測（用途別）（2026-2031）
4.2.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格予測（用途別）（2026-2031）
4.3 EUVマスク欠陥検査装置の応用分野における新たな成長要因
5 主要プレイヤー別の競争状況
5.1 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（2020-2025年）
5.2 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場における主要企業別売上高（2020-2025年）
5.3 グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場シェア（企業タイプ別：ティア1、ティア2、ティア3）＆（2024年時点のEUVマスク欠陥検査装置売上高に基づく）
5.4 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の平均価格（企業別）（2020-2025）
5.5 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー、製造拠点および本社
5.6 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー、製品タイプおよび用途
5.7 グローバルEUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー、業界参入時期
5.8 メーカーの合併・買収、拡張計画
6 地域分析
6.1 米国市場：主要企業、セグメント、下流産業および主要顧客
6.1.1 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）
6.1.1.1 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（2020-2025）
6.1.1.2 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（2020-2025）
6.1.2 米国EUVマスク欠陥検査装置の販売額をタイプ別内訳（2020-2025）
6.1.3 米国EUVマスク欠陥検査装置の販売額内訳（用途別）（2020-2025）
6.1.4 米国EUVマスク欠陥検査装置の主要顧客
6.1.5 米国市場動向と機会
6.2 日本市場：主要企業、セグメント、下流産業および主要顧客
6.2.1 日本EUVマスク欠陥検査装置の販売額（企業別）
6.2.1.1 日本EUVマスク欠陥検査装置の販売額（企業別）（2020-2025）
6.2.1.2 日本EUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（2020-2025）
6.2.2 日本のEUVマスク欠陥検査装置の販売額内訳（2020-2025）
6.2.3 日本のEUVマスク欠陥検査装置の販売額内訳（用途別）（2020-2025）
6.2.4 日本のEUVマスク欠陥検査装置の主要顧客
6.2.5 日本市場動向と機会
7 企業プロファイルと主要指標
7.1 レーザーテック
7.1.1 レーザーテック会社概要
7.1.2 レーザーテック事業概要
7.1.3 レーザーテック EUVマスク欠陥検査装置の売上高、売上高、粗利益率（2020-2025）
7.1.4 レーザーテックのEUVマスク欠陥検査装置製品ラインナップ
7.1.5 Lasertecの最近の動向
7.2 KLA-Tencor
7.2.1 KLA-Tencor 会社概要
7.2.2 KLA-Tencorの事業概要
7.2.3 KLA-Tencor EUVマスク欠陥検査装置の売上高、売上高、粗利益率（2020-2025）
7.2.4 KLA-Tencor EUVマスク欠陥検査装置の製品ラインナップ
7.2.5 KLA-Tencorの最近の動向
7.3 アドバンテスト
7.3.1 アドバンテスト会社概要
7.3.2 アドバンテスト事業概要
7.3.3 アドバンテスト EUV マスク欠陥検査装置の売上高、売上高、粗利益率（2020-2025）
7.3.4 アドバンテストのEUVマスク欠陥検査装置製品ラインナップ
7.3.5 アドバンテストの最近の動向
7.4 応用材料
7.4.1 応用材料会社概要
7.4.2 応用材料事業概要
7.4.3 応用材料のEUVマスク欠陥検査装置の売上高、売上高、粗利益率（2020-2025）
7.4.4 応用材料のEUVマスク欠陥検査装置製品ラインナップ
7.4.5 応用材料の最近の動向
7.5 ヌフレア
7.5.1 NuFlare 会社概要
7.5.2 NuFlareの事業概要
7.5.3 NuFlare EUVマスク欠陥検査装置の売上高、売上高、粗利益率（2020-2025）
7.5.4 NuFlare EUVマスク欠陥検査装置の製品ラインナップ
7.5.5 NuFlareの最近の動向
8 EUVマスク欠陥検査装置の製造コスト分析
8.1 EUVマスク欠陥検査装置の主要原材料分析
8.1.1 主要原材料
8.1.2 原材料の主要な供給元
8.2 製造コスト構造の割合
8.3 EUVマスク欠陥検査装置の製造プロセス分析
8.4 EUVマスク欠陥検査装置の産業チェーン分析
9 マーケティングチャネル、販売代理店および顧客
9.1 マーケティングチャネル
9.2 EUVマスク欠陥検査装置のディストリビューター一覧
9.3 EUVマスク欠陥検査装置の顧客
10 EUVマスク欠陥検査装置市場動向
10.1 EUVマスク欠陥検査装置業界の動向
10.2 EUVマスク欠陥検査装置市場の成長要因
10.3 EUVマスク欠陥検査装置市場における課題
10.4 EUVマスク欠陥検査装置市場の制約
11 研究結果と結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.1.1 方法論/研究アプローチ
12.1.1.1 研究プログラム/設計
12.1.1.2 市場規模の推計
12.1.1.3 市場細分化とデータ三角測量
12.1.2 データソース
12.1.2.1 二次資料
12.1.2.2 一次情報源
12.2 著者情報
12.3 免責事項
表1. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の販売額（百万米ドル）タイプ別成長率（2020年、2024年、2031年）
表2. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の販売額（米ドル百万）用途別比較（2020年、2024年、2031年）
表3. グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模（百万米ドル）地域別：2020年対2024年対2031年
表4. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売台数（地域別）（2020-2025）
表5. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア（地域別）（2020-2025）
表6. 地域別EUVマスク欠陥検査装置市場規模（売上高、百万米ドル）2020年対2025年
表7. 地域別EUVマスク欠陥検査装置売上高シェア（2020-2025）
表8. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売台数予測（地域別）（2026-2031）
表9. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア予測（地域別）（2026-2031年）
表10. 地域別EUVマスク欠陥検査装置売上高（百万米ドル）予測（2026-2031年）
表11. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア予測（地域別）（2026-2031）
表12. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の販売台数（単位）別予測（2020-2025）
表13. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（タイプ別）（2020-2025）
表14. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（種類別）（US$百万）＆（2020-2025）
表15. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（種類別）（K US$/台）＆（2020-2025）
表16. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（種類別）（台）＆（2026-2031）
表17. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（タイプ別）（US$百万）＆（2026-2031）
表18. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（タイプ別）（K US$/台）および（2026-2031）
表19. 各タイプの主要メーカー
表20. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（台）＆（2020-2025）
表21. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上シェア（用途別）（2020-2025）
表22. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（百万US$）＆（2020-2025）
表23. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（用途別）（千米ドル/台）＆（2020-2025）
表24. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（台）＆（2026-2031）
表25. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（用途別）（百万米ドル）＆（2026-2031）
表26. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の価格（用途別）（K US$/台）および（2026-2031）
表27. EUVマスク欠陥検査装置の応用分野における新たな成長要因
表28. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（単位：台）および（2020-2025）
表29. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上シェア（企業別）（2020-2025）
表30. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（US$百万）＆（2020-2025）
表31. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（企業別）（2020-2025）
表32. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の企業タイプ別（ティア1、ティア2、ティア3）および（2024年時点のEUVマスク欠陥検査装置売上高に基づく）
表33. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の平均価格（企業別）（K US$/台）＆（2020-2025）
表34. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー、製造拠点および本社所在地
表35. EUVマスク欠陥検査装置のグローバル主要メーカー、製品タイプおよび用途
表36. EUVマスク欠陥検査装置の主要メーカー、業界参入時期
表37. メーカーの合併・買収、拡張計画
表38. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（2020-2025年）＆（台数）
表39. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（企業別）（2020-2025年）
表40. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（2020-2025年）および（百万米ドル）
表41. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（2020-2025年）
表42. 米国EUVマスク欠陥検査装置の販売台数（2020-2025年） & （台数）
表43. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（種類別）（2020-2025）
表44. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（2020-2025） & （台数）
表45. 米国EUVマスク欠陥検査装置の販売市場シェア（用途別）（2020-2025）
表46. 日本 EUVマスク欠陥検査装置の販売額（企業別）（2020-2025） & （台数）
表47. 日本のEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア（用途別）（2020-2025年）
表48. 日本のEUVマスク欠陥検査装置の売上高（企業別）（2020-2025年）＆（US$百万）
表49. 日本EUVマスク欠陥検査装置売上高市場シェア（企業別）（2020-2025）
表50. 日本EUVマスク欠陥検査装置の販売台数（2020-2025年） & （台数）
表51. 日本のEUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（種類別）（2020-2025）
表52. 日本のEUVマスク欠陥検査装置の売上高（用途別）（2020-2025） & （台数）
表53. 日本のEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア（用途別）（2020-2025）
表54. レーザーテック会社情報
表55. レーザーテックの事業概要
表56. レーザーテック EUVマスク欠陥検査装置の販売台数（台）、売上高（百万米ドル）、価格（千米ドル/台）および粗利益率（2020-2025）
表57. レーザーテック EUVマスク欠陥検査装置製品
表58. レーザーテックの最近の動向
表59. KLA-Tencor 会社の概要
表60. KLA-Tencorの概要と事業概要
表61. KLA-Tencor EUVマスク欠陥検査装置の販売台数、売上高（百万US$）、単価（K US$/台）および粗利益率（2020-2025）
表62. KLA-Tencor EUVマスク欠陥検査装置製品
表63. KLA-Tencorの最近の動向
表64. Advantest 会社情報
表65. アドバンテストの概要と事業概要
表66. アドバンテスト EUVマスク欠陥検査装置の販売台数、売上高（百万米ドル）、単価（千米ドル/台）および粗利益率（2020-2025）
表67. アドバンテスト EUVマスク欠陥検査装置製品
表68. アドバンテストの最近の動向
表69. 応用材料会社情報
表70. 応用材料社（Applied Materials）の概要と事業内容
表71. 応用材料 EUVマスク欠陥検査装置の販売台数、売上高（百万米ドル）、単価（千米ドル/台）および粗利益率（2020-2025）
表72. 応用材料 EUVマスク欠陥検査装置製品
表73. 応用材料社の最近の動向
表74. ヌフライン社情報
表75. NuFlareの概要と事業概要
表76. NuFlare EUVマスク欠陥検査装置の販売台数、売上高（百万US$）、単価（千US$/台）および粗利益率（2020-2025）
表77. NuFlare EUVマスク欠陥検査装置製品
表78. NuFlareの最近の動向
表79. 原材料の生産拠点と市場集中率
表80. 原材料の主要サプライヤー
表81. EUVマスク欠陥検査装置のディストリビューター一覧
表82. EUVマスク欠陥検査装置の顧客一覧
表83. EUVマスク欠陥検査装置市場動向
表84. EUVマスク欠陥検査装置市場の成長要因
表85. EUVマスク欠陥検査装置市場における課題
表86. EUVマスク欠陥検査装置市場制約要因
表87. 本報告書のための研究プログラム/設計
表88. 二次資料からの主要データ情報
表89. 一次情報源からの主要データ情報
表85. EUVマスク欠陥検査装置市場の課題
図のリスト
図1. EUVマスク欠陥検査装置の製品画像
図2. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の販売額（百万米ドル）種類別（2020年、2024年、2031年）
図3. 2024年および2031年のEUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（種類別）
図4. 5-7nmプロセス製品画像
図5. 3nm以下プロセス製品画像
図6. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高（米ドル百万）用途別（2020年、2024年、2031年）
図7. 2024年および2031年のEUVマスク欠陥検査装置販売市場シェア（用途別）
図8. マスクショップの例
図9. ファブ例
図10. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売額（米ドル百万）、2020年対2024年対2031年
図11. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売成長率（2020-2031年）＆（百万米ドル）
図12. グローバルEUVマスク欠陥検査装置販売台数成長率（2020-2031）
図13. グローバルEUVマスク欠陥検査装置価格動向成長率（2020-2031）＆（千米ドル/台）
図14. EUVマスク欠陥検査装置報告書対象年
図15. グローバルEUVマスク欠陥検査装置市場規模（百万USドル）地域別：2020年対2024年対2031年
図16. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高市場シェア（地域別）：2020年対2024年
図17. 米国EUVマスク欠陥検査装置の売上高（百万USドル）成長率（2020-2031）
図18. 米国EUVマスク欠陥検査装置販売台数成長率（2020年～2031年）
図19. 日本のEUVマスク欠陥検査装置の売上高（百万米ドル）成長率（2020-2031）
図20. 日本のEUVマスク欠陥検査装置の販売台数成長率（2020-2031）
図21. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（タイプ別）（2020-2025）
図22. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（種類別）（2026-2031）
図23. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（種類別）（2026-2031）
図24. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（用途別）（2020-2025）
図25. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高成長率（用途別）（2020年と2024年）
図26. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上シェア（用途別）（2026-2031）
図27. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（用途別）（2026-2031）
図28. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上シェア（企業別）（2024年）
図29. グローバルEUVマスク欠陥検査装置の売上高シェア（企業別）（2024年）
図30. EUVマスク欠陥検査装置市場における売上高別上位5社シェア（2020年と2024年）
図31. EUVマスク欠陥検査装置市場シェア（企業タイプ別：ティア1、ティア2、ティア3）：2020年対2024年
図32. EUVマスク欠陥検査装置の製造コスト構造
図33. EUVマスク欠陥検査装置の製造プロセス分析
図34. EUVマスク欠陥検査装置の産業チェーン
図35. 流通チャネル（直接販売 vs 流通）
図36. ディストリビュータープロファイル
図37. 本報告書におけるボトムアップとトップダウンのアプローチ
図38. データ三角測量
図39. インタビュー対象の主要幹部
図35. 流通チャネル（直接販売対流通販売）
1 Market Overview
1.1 EUV Mask Defect Inspection Equipment Product Scope
1.2 EUV Mask Defect Inspection Equipment by Type
1.2.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Type (2020 & 2024 & 2031)
1.2.2 5-7nm Process
1.2.3 3nm and Below Process
1.3 EUV Mask Defect Inspection Equipment by Application
1.3.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Comparison by Application (2020 & 2024 & 2031)
1.3.2 Mask Shop
1.3.3 Fab
1.4 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Estimates and Forecasts (2020-2031)
1.4.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Size in Value Growth Rate (2020-2031)
1.4.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Size in Volume Growth Rate (2020-2031)
1.4.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Price Trends (2020-2031)
1.5 Assumptions and Limitations
2 Market Size and Prospective by Region
2.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Size by Region: 2020 VS 2024 VS 2031
2.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Retrospective Market Scenario by Region (2020-2025)
2.2.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Market Share by Region (2020-2025)
2.2.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue Market Share by Region (2020-2025)
2.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Estimates and Forecasts by Region (2026-2031)
2.3.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Estimates and Forecasts by Region (2026-2031)
2.3.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue Forecast by Region (2026-2031)
2.4 Major Region and Emerging Market Analysis
2.4.1 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Size and Prospective (2020-2031)
2.4.2 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Size and Prospective (2020-2031)
3 Global Market Size by Type
3.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Historic Market Review by Type (2020-2025)
3.1.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Type (2020-2025)
3.1.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue by Type (2020-2025)
3.1.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Price by Type (2020-2025)
3.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Estimates and Forecasts by Type (2026-2031)
3.2.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Forecast by Type (2026-2031)
3.2.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue Forecast by Type (2026-2031)
3.2.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Price Forecast by Type (2026-2031)
3.3 Different Types EUV Mask Defect Inspection Equipment Representative Players
4 Global Market Size by Application
4.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Historic Market Review by Application (2020-2025)
4.1.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Application (2020-2025)
4.1.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue by Application (2020-2025)
4.1.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Price by Application (2020-2025)
4.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Estimates and Forecasts by Application (2026-2031)
4.2.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Forecast by Application (2026-2031)
4.2.2 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue Forecast by Application (2026-2031)
4.2.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Price Forecast by Application (2026-2031)
4.3 New Sources of Growth in EUV Mask Defect Inspection Equipment Application
5 Competition Landscape by Players
5.1 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Players (2020-2025)
5.2 Global Top EUV Mask Defect Inspection Equipment Players by Revenue (2020-2025)
5.3 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Share by Company Type (Tier 1, Tier 2, and Tier 3) & (based on the Revenue in EUV Mask Defect Inspection Equipment as of 2024)
5.4 Global EUV Mask Defect Inspection Equipment Average Price by Company (2020-2025)
5.5 Global Key Manufacturers of EUV Mask Defect Inspection Equipment, Manufacturing Sites & Headquarters
5.6 Global Key Manufacturers of EUV Mask Defect Inspection Equipment, Product Type & Application
5.7 Global Key Manufacturers of EUV Mask Defect Inspection Equipment, Date of Enter into This Industry
5.8 Manufacturers Mergers & Acquisitions, Expansion Plans
6 Region Analysis
6.1 USA Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.1.1 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Company
6.1.1.1 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Company (2020-2025)
6.1.1.2 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue by Company (2020-2025)
6.1.2 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.1.3 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.1.4 USA EUV Mask Defect Inspection Equipment Major Customer
6.1.5 USA Market Trend and Opportunities
6.2 Japan Market: Players, Segments, Downstream and Major Customers
6.2.1 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Company
6.2.1.1 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales by Company (2020-2025)
6.2.1.2 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Revenue by Company (2020-2025)
6.2.2 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Breakdown by Type (2020-2025)
6.2.3 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales Breakdown by Application (2020-2025)
6.2.4 Japan EUV Mask Defect Inspection Equipment Major Customer
6.2.5 Japan Market Trend and Opportunities
7 Company Profiles and Key Figures
7.1 Lasertec
7.1.1 Lasertec Company Information
7.1.2 Lasertec Business Overview
7.1.3 Lasertec EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.1.4 Lasertec EUV Mask Defect Inspection Equipment Products Offered
7.1.5 Lasertec Recent Development
7.2 KLA-Tencor
7.2.1 KLA-Tencor Company Information
7.2.2 KLA-Tencor Business Overview
7.2.3 KLA-Tencor EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.2.4 KLA-Tencor EUV Mask Defect Inspection Equipment Products Offered
7.2.5 KLA-Tencor Recent Development
7.3 Advantest
7.3.1 Advantest Company Information
7.3.2 Advantest Business Overview
7.3.3 Advantest EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.3.4 Advantest EUV Mask Defect Inspection Equipment Products Offered
7.3.5 Advantest Recent Development
7.4 Applied Materials
7.4.1 Applied Materials Company Information
7.4.2 Applied Materials Business Overview
7.4.3 Applied Materials EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.4.4 Applied Materials EUV Mask Defect Inspection Equipment Products Offered
7.4.5 Applied Materials Recent Development
7.5 NuFlare
7.5.1 NuFlare Company Information
7.5.2 NuFlare Business Overview
7.5.3 NuFlare EUV Mask Defect Inspection Equipment Sales, Revenue and Gross Margin (2020-2025)
7.5.4 NuFlare EUV Mask Defect Inspection Equipment Products Offered
7.5.5 NuFlare Recent Development
8 EUV Mask Defect Inspection Equipment Manufacturing Cost Analysis
8.1 EUV Mask Defect Inspection Equipment Key Raw Materials Analysis
8.1.1 Key Raw Materials
8.1.2 Key Suppliers of Raw Materials
8.2 Proportion of Manufacturing Cost Structure
8.3 Manufacturing Process Analysis of EUV Mask Defect Inspection Equipment
8.4 EUV Mask Defect Inspection Equipment Industrial Chain Analysis
9 Marketing Channel, Distributors and Customers
9.1 Marketing Channel
9.2 EUV Mask Defect Inspection Equipment Distributors List
9.3 EUV Mask Defect Inspection Equipment Customers
10 EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Dynamics
10.1 EUV Mask Defect Inspection Equipment Industry Trends
10.2 EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Drivers
10.3 EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Challenges
10.4 EUV Mask Defect Inspection Equipment Market Restraints
11 Research Findings and Conclusion
12 Appendix
12.1 Research Methodology
12.1.1 Methodology/Research Approach
12.1.1.1 Research Programs/Design
12.1.1.2 Market Size Estimation
12.1.1.3 Market Breakdown and Data Triangulation
12.1.2 Data Source
12.1.2.1 Secondary Sources
12.1.2.2 Primary Sources
12.2 Author Details
12.3 Disclaimer
| 【EUVマスク欠陥検査装置について】 EUVマスク欠陥検査装置は、極端紫外線（EUV）リソグラフィ技術において、マスクの欠陥を検出するための高精度な装置です。EUVリソグラフィは、半導体製造において微細構造を形成するために必要不可欠な技術であり、その精度はデバイスの性能や生産性に大きく影響します。以下に、EUVマスク欠陥検査装置の概念、特徴、種類、用途、関連技術について詳細に説明いたします。 まず、EUVマスクの定義について明確にします。EUVマスクは、半導体デバイスを製造するために使用されるリソグラフィ用のマスクで、EUV波長の光（通常は13.5nm）で動作します。このマスクは、デバイスのパターン情報を転写する役割を果たし、その品質が半導体製品の歩留まりや性能に直結するため、欠陥検査が非常に重要です。 EUVマスク欠陥検査装置の特徴としては、まずその高解像度が挙げられます。EUV技術は極めて微細なパターンを生成するため、その検査装置も非常に高い解像度を持つ必要があります。一般的には、ナノメートル単位での欠陥検出能力を持つことが求められます。また、高感度であることも重要です。微細な欠陥を検出するためには、非常に微弱な信号でも正確に捉えられる感度を持つ必要があります。 次に、EUVマスク検査装置の種類について考えます。一般的には、主に以下のような種類が存在します。まず、アトミックフォース顕微鏡（AFM）を用いた検査装置です。この方法は、サンプル表面の形状を高精度で測定でき、微細な欠陥を検出することが可能です。次に、電子線検査装置（EBL）の活用があります。電子線を利用して高解像度の画像を取得し、欠陥を検出します。また、光学式検査装置も存在し、特定の波長の光を使用してマスクのパターンを確認する方法です。これらの技術はそれぞれ特性が異なり、目的に応じて使い分けられます。 EUVマスク欠陥検査装置の用途としては、主に半導体製造に関連したものであり、マスクの品質管理やプロセスの最適化に利用されます。製造プロセスにおいては、マスクのパターンが正確に転写されないと、デバイスの性能に影響を及ぼすため、欠陥を事前に検出し修正することが求められます。また、新しいマスク材料や構造の開発段階においても、欠陥検査は重要な役割を果たします。これにより、技術革新や新しい製品の迅速な市場投入が可能となります。 さらに、EUVマスク欠陥検査装置は、先端技術を背景にした関連技術の進展によっても支えられています。例えば、画像処理技術や人工知能（AI）を活用した欠陥検出アルゴリズムの開発が進んでいます。これにより、迅速かつ高精度な欠陥検査が可能となり、製造プロセス全体の効率化を図ることができます。また、データ分析技術によって、過去の検査データを利用して欠陥発生のトレンドを把握し、次のプロセスに役立てることも可能です。 最後に、EUVマスク欠陥検査装置の重要性を強調します。半導体業界は急速に進化しており、微細化が進む中で、マスクの欠陥管理はますます重要な課題となっています。EUV技術は次世代半導体製造の核となるものであり、その品質を保証するためには、的確な欠陥検査が不可欠です。今後も、EUVマスク欠陥検査装置は半導体製造現場での重要な役割を担い、さらに進化していくことでしょう。このような技術の発展が、より高性能で効率的な半導体デバイスの製造を実現し、将来のテクノロジーの進化を支える基盤となることが期待されています。 |
• 日本語訳：EUVマスク欠陥検査装置の世界市場2025-2031（グローバル、日本、中国）：5-7nmプロセス、3nm以下プロセス
• レポートコード：QY-SR25SP2914 ▷ お問い合わせ（見積依頼・ご注文・質問）