 | • レポートコード：MRCLPR8NB00497 • 出版社/出版日：LP Information / 2026年11月 • レポート形態：英文、PDF、113ページ • 納品方法：Eメール（納期：2-3営業日） • 産業分類：Machinery & Equipment |
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レポート概要
EUVリソグラフィ測定・検査装置市場調査レポート概要
世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置市場規模は、2025年の47億5400万米ドルから2032年には98億8700万米ドルに成長すると予測されており、2026年から2032年までの年平均成長率（CAGR）は10.9％と見込まれています。
EUVリソグラフィ測定・検査装置とは、13.5nmの極端紫外線（EUV）リソグラフィに関連した特殊なプロセス制御システムであり、EUVマスクブランク、パターン化されたEUVレチクル、EUVペリクル、リソグラフィ後およびエッチング後のウェーハパターン、クリティカルなリソグラフィプロセスウィンドウの検査、測定、レビュー、校正、制御を行うものです。これらのシステムは、印刷可能な欠陥、クリティカル寸法（CD）、オーバーレイ誤差、パターンプレスメント、反射率、位相、膜パラメータ、材料特性、三次元プロファイル、粒子汚染を測定・分析します。主要な技術手法には、アクチニックEUVやソフトX線検査、電子線イメージング、CD-SEM、電子ビーム検査・レビュー、光学的オーバーレイ測定、光学的クリティカル寸法散乱法（OCD）、エリプソメトリー、原子間力顕微鏡（AFM）、オフラインTEM/STEMレビュー、自動欠陥分類、プロセス制御分析が含まれます。これら装置は主にEUVマスク製造、ウェーハ工場の受入レチクル品質保証、スキャナおよびプロセスレシピのセットアップ、現像後・エッチング後のCDコントロール、オーバーレイ制御、確率的欠陥モニタリング、高NA EUVプロセス開発、先端ノードの歩留まり向上に利用されています。
EUVリソグラフィ測定・検査装置は狭義の研究室用測定機器ではなく、ミッションクリティカルなプロセス制御層として理解されるべきです。DUV（深紫外線）からEUVへの移行に伴い、反射型多層マスクアーキテクチャ、13.5nmの露光波長、確率的欠陥、薄膜レジスト、厳しいオーバーレイ予算、狭いプロセスウィンドウが導入されました。その結果、ファブおよびマスクショップは従来のCDやオーバーレイ指標だけでなく、印刷可能なマスク欠陥、マスクブランク欠陥、ペリクル粒子、パターンプレスメント誤差、レジストプロファイルの変動、エッチング後のCD挙動、欠陥の繰り返し性をEUV層を通じて制御する必要があります。このため、正しい業界範囲には、EUVマスクおよびマスクブランク検査、レチクルの位置決めと平坦度計測、アクチニックEUV検査、ウェーハのCD-SEM、電子ビーム検査とレビュー、光学的オーバーレイ、OCD、AFMベースの3D測定、一部オフラインの高解像度レビューシステムが含まれます。主要サプライヤーからの公式製品証拠は、これらのシステムがもはや任意の研究開発用ツールではなく、EUVプロセス開発、マスク検証、受入レチクルQA、高量産プロセス制御に深く組み込まれていることを示しています。
需要の成長要因は、EUV層数の増加、高NA EUVへの移行、先端ロジックノードの移行、先端DRAMパターンニング、歩留まり学習サイクルの短縮ニーズにあります。需要は最先端ファウンドリ、ロジックIDM、先端メモリメーカー、EUVマスクショップ、マスクブランクサプライヤ、ペリクル関連サプライヤに集中しています。ASMLが2025年に発表した48台のEUVシステム出荷と208台の測定・検査システム出荷は、EUVスキャナ導入とプロセス制御装置需要の構造的な連動を示しています。業界団体のウェーハ製造装置の成長予測も、EUV関連の測定・検査に対する需要の追い風を支持しています。
技術競争は単一ツールの精度から、ハイブリッドで高スループットかつデータ豊富なプロセス制御へと移行しています。マスク側では非アクチニック手法ではウェーハの印刷性を完全に予測できないため、アクチニック検査やペリクル透過検査機能が重要性を増しています。ウェーハ側では、CD-SEM、電子ビームレビュー、OCD、光学的オーバーレイ、AFM、材料計測を組み合わせ、確率的欠陥、レジストプロファイル変動、複雑な3D構造を制御する必要があります。高NA EUVは被写界深度とレジストプロセスマージンを厳しくするため、これらの課題を一層強調します。地域分散化の取り組みにより、CD-SEM、光学計測、欠陥検査の周辺分野で中国や地域のサプライヤーに機会が生まれますが、最高峰のEUV専用装置は今後数年間は米国、日本、欧州の確立されたサプライヤーに集中する見込みです。
政策環境および地域サプライチェーンの観点から、EUVリソグラフィ測定・検査装置は先端半導体エコシステムにおける戦略的制御ポイントとなっています。米国、日本、同盟諸国での輸出管理政策は、高度ノード生産に使用される特定の測定・検査ツールを含む先端半導体製造装置へのアクセスを制限しています。一方、EUはサプライチェーンの強靭性、技術主権、対外依存度低減を重視する半導体政策を推進しています。これらの政策は、マスク検査、レチクル計測、CD-SEM、電子ビームレビュー、オーバーレイ計測、高NA EUV 3D計測といった装置が、最先端ファブの3nm、2nmおよびそれ以降の歩留まり立ち上げに直接影響を与えることから、EUV関連プロセス制御装置の戦略的価値を補強しています。地域的なサプライチェーンは依然として米国、日本、欧州に構造的に集中しており、韓国、イスラエル、欧州の一部スタートアップはAFM、材料計測、3Dプロセス制御におけるニッチ技術で貢献しています。中国はCD-SEM、電子ビーム検査、光学計測、OCD、膜計測、ウェーハ欠陥検査といった隣接分野での国内代替を加速していますが、公に入手可能な証拠では、最高峰のEUV専用ツール、特にアクチニックEUVマスク検査機と高NA EUVプロセス制御プラットフォームは海外の既存サプライヤーが支配していると示されています。結果として、地域化は地元のサービス、アプリケーションサポート、選定された国内装置プラットフォームへの投資を増加させますが、EUV専用測定・検査装置のコアサプライチェーンは中期的に高い集中度を維持すると予想されます。
LP Information, Inc.（LPI）の最新調査レポート「EUVリソグラフィ測定・検査装置業界予測」は、過去の販売データと2025年の世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置売上を分析し、地域別および市場セクター別に2026年から2032年までの販売見通しを提供しています。EUVリソグラフィ測定・検査装置の売上高を地域、市場セクター、サブセクター別に分解し、世界市場の詳細な分析を米ドル（100万ドル単位）で行っています。
本レポートは、世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置の現状を包括的に分析し、製品セグメント、企業設立、収益、市場シェア、最新動向、M&A活動に関する主要トレンドを明らかにします。また、主要なグローバル企業の戦略をEUVリソグラフィ測定・検査装置のポートフォリオや能力、市場参入戦略、市場ポジション、地域展開に着目して分析し、加速する世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置市場における各社の独自の位置づけを理解します。
本レポートは、主要市場動向、成長ドライバー、影響要因を評価し、タイプ別、用途別、地域別、市場規模別に予測を分解して新たな機会を浮き彫りにします。数百に及ぶボトムアップの定性・定量的市場データに基づく透明な方法論を用い、世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置の現状と将来の動向を高度に詳細に予測しています。
本報告は、製品タイプ、用途、主要メーカー、主要地域・国別にEUVリソグラフィ測定・検査装置市場の包括的概要、市場シェア、成長機会を提示しています。
タイプ別セグメンテーション：
– EUVマスク検査装置
– ウェーハCD測定装置
– オーバーレイ測定装置
– その他支援測定装置
測定技術別セグメンテーション：
– アクチニックEUV検査
– CD-SEM測定
– AFM／プローブ測定
– X線／ソフトX線測定
– その他
装置展開モード別セグメンテーション：
– インライン測定装置
– オフラインレビュー装置
用途別セグメンテーション：
– マスクブランク検証
– リソグラフィプロセス設定
– 高NA EUVプロセス開発
– その他
地域別セグメンテーション：
アメリカ大陸
– 米国
– カナダ
– メキシコ
– ブラジル
アジア太平洋（APAC）
– 中国
– 日本
– 韓国
– 東南アジア
– インド
– オーストラリア
ヨーロッパ
– ドイツ
– フランス
– 英国
– イタリア
– ロシア
中東・アフリカ
– エジプト
– 南アフリカ
– イスラエル
– トルコ
– GCC諸国
プロファイルされた主要企業は、一次専門家の意見収集および企業のカバレッジ、製品ポートフォリオ、市場浸透度の分析から選定されています。
– ASMLホールディングN.V.
– アプライドマテリアルズ社
– KLAコーポレーション
– カールツァイスAG
– 日立ハイテクノロジーズ
– ラザーテック株式会社
– 堀場製作所
– オントゥイノベーション社
– ノバ株式会社
– パークシステムズ株式会社
– ニアフィールド・インスツルメンツB.V.
– EUVテック社
本レポートで扱う主要質問：
– 世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置市場の10年間の見通しは？
– 世界および地域別に、EUVリソグラフィ測定・検査装置市場成長を牽引する要因は？
– 市場・地域別に最も成長が見込まれる技術は何か？
– EUVリソグラフィ測定・検査装置の市場機会は最終市場規模別にどのように異なるか？
– タイプ別、用途別にEUVリソグラフィ測定・検査装置はどう分類されるか？
1 レポートの範囲
1.1 市場の紹介
1.2 対象年
1.3 研究目的
1.4 市場調査の方法論
1.5 調査プロセスとデータソース
1.6 経済指標
1.7 通貨の考慮
1.8 市場推定に関する注意事項
2 エグゼクティブサマリー
2.1 世界市場の概要
2.1.1 世界のEUVリソグラフィ測定・検査装置 年間販売実績 2021-2032年
2.1.2 地理的地域別のEUVリソグラフィ測定・検査装置の現在および将来の分析（2021年、2025年、2032年）
2.1.3 国・地域別のEUVリソグラフィ測定・検査装置の現在および将来の分析（2021年、2025年、2032年）
2.2 タイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置セグメント
2.2.1 EUVマスク検査装置
2.2.2 ウェハーCD計測装置
2.2.3 重ね合わせ計測装置
2.2.4 その他支援計測装置
2.2.5 タイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置の販売
2.2.5.1 タイプ別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021-2026年）
2.2.5.2 タイプ別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高および市場シェア（2021-2026年）
2.2.5.3 タイプ別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021-2026年）
2.3 計測技術別EUVリソグラフィ測定・検査装置セグメント
2.3.1 アクチニックEUV検査
2.3.2 CD-SEM計測
2.3.3 AFM / プローブ計測
2.3.4 X線 / 軟X線計測
2.3.5 その他
2.3.6 計測技術別EUVリソグラフィ測定・検査装置の販売
2.3.6.1 計測技術別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021-2026年）
2.3.6.2 計測技術別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高および市場シェア（2021-2026年）
2.3.6.3 計測技術別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021-2026年）
2.4 装置展開モード別EUVリソグラフィ測定・検査装置セグメント
2.4.1 インライン計測装置
2.4.2 オフラインレビュー装置
2.4.3 装置展開モード別EUVリソグラフィ測定・検査装置の販売
2.4.3.1 装置展開モード別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021-2026年）
2.4.3.2 装置展開モード別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高および市場シェア（2021-2026年）
2.4.3.3 装置展開モード別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021-2026年）
2.5 用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置セグメント
2.5.1 マスクブランク資格認定
2.5.2 リソグラフィプロセスセットアップ
2.5.3 高NA EUVプロセス開発
2.5.4 その他
2.5.5 用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置の販売
2.5.5.1 用途別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021-2026年）
2.5.5.2 用途別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高および市場シェア（2021-2026年）
2.5.5.3 用途別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021-2026年）
3 企業別世界市場
3.1 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置内訳データ
3.1.1 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間販売台数（2021-2026年）
3.1.2 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021-2026年）
3.2 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上高（2021-2026年）
3.2.1 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高（2021-2026年）
3.2.2 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高市場シェア（2021-2026年）
3.3 企業別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格
3.4 主要メーカーのEUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点分布、販売地域、製品タイプ
3.4.1 主要メーカーEUVリソグラフィ測定・検査装置生産拠点の分布
3.4.2 各プレイヤーのEUVリソグラフィ測定・検査装置提供製品
3.5 市場集中度分析
3.5.1 競争環境分析
3.5.2 集中率（CR3、CR5、CR10）（2024-2026年）
3.6 新製品と潜在的参入者
3.7 市場のM&A動向および戦略
4 地理的地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置の歴史的レビュー
4.1 地理的地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置市場規模（2021-2026年）
4.1.1 地理的地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間販売台数（2021-2026年）
4.1.2 地理的地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上高（2021-2026年）
4.2 国・地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置市場規模（2021-2026年）
4.2.1 国・地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間販売台数（2021-2026年）
4.2.2 国・地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上高（2021-2026年）
4.3 アメリカ大陸地域におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置販売成長
4.4 アジア太平洋地域におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置販売成長
4.5 ヨーロッパ地域におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置販売成長
4.6 中東・アフリカ地域におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置販売成長
5 アメリカ大陸
5.1 アメリカ大陸EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 国別
5.1.1 アメリカ大陸EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 国別（2021-2026年）
5.1.2 アメリカ大陸EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高 国別（2021-2026年）
5.2 アメリカ大陸EUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数タイプ別（2021-2026年）
5.3 アメリカ大陸EUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数用途別（2021-2026年）
5.4 米国
5.5 カナダ
5.6 メキシコ
5.7 ブラジル
6 アジア太平洋地域（APAC）
6.1 APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 地域別
6.1.1 APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 地域別（2021-2026年）
6.1.2 APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置売上高 地域別（2021-2026年）
6.2 APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数タイプ別（2021-2026年）
6.3 APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数用途別（2021-2026年）
6.4 中国
6.5 日本
6.6 韓国
6.7 東南アジア
6.8 インド
6.9 オーストラリア
6.10 台湾
7 ヨーロッパ
7.1 ヨーロッパEUVリソグラフィ測定・検査装置 国別
7.1.1 ヨーロッパEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 国別（2021-2026年）
7.1.2 ヨーロッパEUVリソグラフィ測定・検査装置売上高 国別（2021-2026年）
7.2 ヨーロッパEUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数タイプ別（2021-2026年）
7.3 ヨーロッパEUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数用途別（2021-2026年）
7.4 ドイツ
7.5 フランス
7.6 イギリス
7.7 イタリア
7.8 ロシア
8 中東・アフリカ
8.1 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置 国別
8.1.1 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数 国別（2021-2026年）
8.1.2 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置売上高 国別（2021-2026年）
8.2 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数タイプ別（2021-2026年）
8.3 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置販売 台数用途別（2021-2026年）
8.4 エジプト
8.5 南アフリカ
8.6 イスラエル
8.7 トルコ
8.8 GCC諸国
9 市場の推進要因、課題およびトレンド
9.1 市場の推進要因および成長機会
9.2 市場の課題およびリスク
9.3 業界トレンド
10 製造コスト構造分析
10.1 原材料と供給業者
10.2 EUVリソグラフィ測定・検査装置の製造コスト構造分析
10.3 EUVリソグラフィ測定・検査装置の製造プロセス分析
10.4 EUVリソグラフィ測定・検査装置の産業チェーン構造
11 マーケティング、流通業者および顧客
11.1 販売チャネル
11.1.1 直接チャネル
11.1.2 間接チャネル
11.2 EUVリソグラフィ測定・検査装置の流通業者
11.3 EUVリソグラフィ測定・検査装置の顧客
12 地理的地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置の予測レビュー
12.1 地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置市場規模予測
12.1.1 地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置予測（2027-2032年）
12.1.2 地域別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上高予測（2027-2032年）
12.2 アメリカ大陸国別予測（2027-2032年）
12.3 APAC地域別予測（2027-2032年）
12.4 ヨーロッパ国別予測（2027-2032年）
12.5 中東・アフリカ国別予測（2027-2032年）
12.6 タイプ別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置予測（2027-2032年）
12.7 用途別世界EUVリソグラフィ測定・検査装置予測（2027-2032年）
13 主要プレイヤー分析
13.1 ASMLホールディング・N.V.
13.1.1 ASMLホールディング・N.V. 会社情報
13.1.2 ASMLホールディング・N.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.1.3 ASMLホールディング・N.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.1.4 ASMLホールディング・N.V. 主要事業概況
13.1.5 ASMLホールディング・N.V. 最新の動向
13.2 アプライドマテリアルズ株式会社
13.2.1 アプライドマテリアルズ株式会社 会社情報
13.2.2 アプライドマテリアルズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.2.3 アプライドマテリアルズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.2.4 アプライドマテリアルズ株式会社 主要事業概況
13.2.5 アプライドマテリアルズ株式会社 最新の動向
13.3 KLAコーポレーション
13.3.1 KLAコーポレーション 会社情報
13.3.2 KLAコーポレーション EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.3.3 KLAコーポレーション EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.3.4 KLAコーポレーション 主要事業概況
13.3.5 KLAコーポレーション 最新の動向
13.4 カールツァイスAG
13.4.1 カールツァイスAG 会社情報
13.4.2 カールツァイスAG EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.4.3 カールツァイスAG EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.4.4 カールツァイスAG 主要事業概況
13.4.5 カールツァイスAG 最新の動向
13.5 日立ハイテクノロジーズ株式会社
13.5.1 日立ハイテクノロジーズ株式会社 会社情報
13.5.2 日立ハイテクノロジーズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.5.3 日立ハイテクノロジーズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.5.4 日立ハイテクノロジーズ株式会社 主要事業概況
13.5.5 日立ハイテクノロジーズ株式会社 最新の動向
13.6 ラステック株式会社
13.6.1 ラステック株式会社 会社情報
13.6.2 ラステック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.6.3 ラステック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.6.4 ラステック株式会社 主要事業概況
13.6.5 ラステック株式会社 最新の動向
13.7 株式会社堀場製作所
13.7.1 株式会社堀場製作所 会社情報
13.7.2 株式会社堀場製作所 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.7.3 株式会社堀場製作所 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.7.4 株式会社堀場製作所 主要事業概況
13.7.5 株式会社堀場製作所 最新の動向
13.8 オント・イノベーション株式会社
13.8.1 オント・イノベーション株式会社 会社情報
13.8.2 オント・イノベーション株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.8.3 オント・イノベーション株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.8.4 オント・イノベーション株式会社 主要事業概況
13.8.5 オント・イノベーション株式会社 最新の動向
13.9 ノバ株式会社
13.9.1 ノバ株式会社 会社情報
13.9.2 ノバ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.9.3 ノバ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.9.4 ノバ株式会社 主要事業概況
13.9.5 ノバ株式会社 最新の動向
13.10 パークシステムズ株式会社
13.10.1 パークシステムズ株式会社 会社情報
13.10.2 パークシステムズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.10.3 パークシステムズ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.10.4 パークシステムズ株式会社 主要事業概況
13.10.5 パークシステムズ株式会社 最新の動向
13.11 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V.
13.11.1 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V. 会社情報
13.11.2 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.11.3 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.11.4 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V. 主要事業概況
13.11.5 ニアフィールド・インストゥルメンツB.V. 最新の動向
13.12 EUVテック株式会社
13.12.1 EUVテック株式会社 会社情報
13.12.2 EUVテック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品ポートフォリオと仕様
13.12.3 EUVテック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数、売上高、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.12.4 EUVテック株式会社 主要事業概況
13.12.5 EUVテック株式会社 最新の動向
14 調査結果と結論
【調査レポートの図表一覧】表一覧
表1. 地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上CAGR（2021年、2025年、2032年）および売上高（百万ドル）
表2. 国・地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置年間売上CAGR（2021年、2025年、2032年）および売上高（百万ドル）
表3. EUVマスク検査装置の主要プレーヤー
表4. ウェハCD測定装置の主要プレーヤー
表5. オーバーレイ測定装置の主要プレーヤー
表6. その他のサポート測定装置の主要プレーヤー
表7. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表8. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表9. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表10. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表11. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021年-2026年）および価格（米ドル/台）
表12. アクティニックEUV検査の主要プレーヤー
表13. CD-SEM測定の主要プレーヤー
表14. AFM / プローブ測定の主要プレーヤー
表15. X線 / 軟X線測定の主要プレーヤー
表16. その他の主要プレーヤー
表17. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表18. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表19. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表20. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表21. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021年-2026年）および価格（米ドル/台）
表22. インライン測定装置の主要プレーヤー
表23. オフラインレビュー装置の主要プレーヤー
表24. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表25. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表26. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表27. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表28. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021年-2026年）および価格（米ドル/台）
表29. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表30. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表31. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表32. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表33. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021年-2026年）および価格（米ドル/台）
表34. 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表35. 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表36. 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表37. 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表38. 企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売価格（2021年-2026年）および価格（米ドル/台）
表39. 主要メーカーのEUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点分布および販売地域
表40. プレーヤーのEUVリソグラフィ測定・検査装置提供製品
表41. EUVリソグラフィ測定・検査装置の集中度比率（CR3、CR5、CR10）（2024年-2026年）
表42. 新製品および潜在的参入者
表43. 市場のM&A活動と戦略
表44. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表45. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表46. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表47. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表48. 国・地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売台数（2021年-2026年）および台数
表49. 国・地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
表50. 国・地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表51. 国・地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
表52. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売台数（2021年-2026年）および台数
表53. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売市場シェア（2021年-2026年）
表54. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置国別収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表55. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置タイプ別販売台数（2021年-2026年）および台数
表56. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置用途別販売台数（2021年-2026年）および台数
表57. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置地域別販売台数（2021年-2026年）および台数
表58. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置地域別販売市場シェア（2021年-2026年）
表59. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置地域別収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表60. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置タイプ別販売台数（2021年-2026年）および台数
表61. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置用途別販売台数（2021年-2026年）および台数
表62. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売台数（2021年-2026年）および台数
表63. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置国別収益（2021年-2026年）および売上高（百万ドル）
表64. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置タイプ別販売台数（2021年-2026年）および台数
表65. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置用途別販売台数（2021年-2026年）および台数
表66. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売台数（2021年-2026年）および台数
表67. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置国別収益市場シェア（2021年-2026年）
表68. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置タイプ別販売台数（2021年-2026年）および台数
表69. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置用途別販売台数（2021年-2026年）および台数
表70. EUVリソグラフィ測定・検査装置の主要市場ドライバーと成長機会
表71. EUVリソグラフィ測定・検査装置の主要市場課題とリスク
表72. EUVリソグラフィ測定・検査装置の主要業界トレンド
表73. EUVリソグラフィ測定・検査装置の原材料
表74. 原材料の主要サプライヤー
表75. EUVリソグラフィ測定・検査装置の流通業者一覧
表76. EUVリソグラフィ測定・検査装置の顧客リスト
表77. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売予測（2027年-2032年）および台数
表78. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表79. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売予測（2027年-2032年）および台数
表80. 米州地域EUVリソグラフィ測定・検査装置国別年間収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表81. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置地域別販売予測（2027年-2032年）および台数
表82. APAC地域EUVリソグラフィ測定・検査装置地域別年間収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表83. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売予測（2027年-2032年）および台数
表84. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置国別収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表85. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置国別販売予測（2027年-2032年）および台数
表86. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置国別収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表87. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売予測（2027年-2032年）および台数
表88. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表89. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売予測（2027年-2032年）および台数
表90. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益予測（2027年-2032年）および売上高（百万ドル）
表91. ASMLホールディングN.V. 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表92. ASMLホールディングN.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表93. ASMLホールディングN.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表94. ASMLホールディングN.V. 主な事業内容
表95. ASMLホールディングN.V. 最近の動向
表96. アプライド・マテリアルズ社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表97. アプライド・マテリアルズ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表98. アプライド・マテリアルズ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表99. アプライド・マテリアルズ社 主な事業内容
表100. アプライド・マテリアルズ社 最近の動向
表101. KLAコーポレーション 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表102. KLAコーポレーション EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表103. KLAコーポレーション EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表104. KLAコーポレーション 主な事業内容
表105. KLAコーポレーション 最近の動向
表106. カールツァイスAG 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表107. カールツァイスAG EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表108. カールツァイスAG EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表109. カールツァイスAG 主な事業内容
表110. カールツァイスAG 最近の動向
表111. 日立ハイテク 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表112. 日立ハイテク EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表113. 日立ハイテク EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表114. 日立ハイテク 主な事業内容
表115. 日立ハイテク 最近の動向
表116. レーザーテック株式会社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表117. レーザーテック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表118. レーザーテック株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表119. レーザーテック株式会社 主な事業内容
表120. レーザーテック株式会社 最近の動向
表121. ホリバ株式会社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表122. ホリバ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表123. ホリバ株式会社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表124. ホリバ株式会社 主な事業内容
表125. ホリバ株式会社 最近の動向
表126. オントイノベーション社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表127. オントイノベーション社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表128. オントイノベーション社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表129. オントイノベーション社 主な事業内容
表130. オントイノベーション社 最近の動向
表131. ノヴァ社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表132. ノヴァ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表133. ノヴァ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表134. ノヴァ社 主な事業内容
表135. ノヴァ社 最近の動向
表136. パークシステムズ社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表137. パークシステムズ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表138. パークシステムズ社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表139. パークシステムズ社 主な事業内容
表140. パークシステムズ社 最近の動向
表141. ニアフィールドインスツルメンツB.V. 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表142. ニアフィールドインスツルメンツB.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表143. ニアフィールドインスツルメンツB.V. EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表144. ニアフィールドインスツルメンツB.V. 主な事業内容
表145. ニアフィールドインスツルメンツB.V. 最近の動向
表146. EUVテック社 基本情報、EUVリソグラフィ測定・検査装置製造拠点、販売地域および競合他社
表147. EUVテック社 EUVリソグラフィ測定・検査装置製品群および仕様
表148. EUVテック社 EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）、収益（百万ドル）、価格（米ドル/台）、粗利益率（2021年-2026年）
表149. EUVテック社 主な事業内容
表150. EUVテック社 最近の動向
図一覧
図1. EUVリソグラフィ測定・検査装置の写真
図2. EUVリソグラフィ測定・検査装置レポート対象年次
図3. 調査目的
図4. 調査方法論
図5. 調査プロセスおよびデータソース
図6. グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置売上成長率（2021年-2032年）（台数）
図7. グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長率（2021年-2032年）（百万ドル）
図8. 地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年、2025年、2032年）および売上高（百万ドル）
図9. 国・地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2025年）
図10. 国・地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年、2025年、2032年）
図11. EUVマスク検査装置製品写真
図12. ウェハCD測定装置製品写真
図13. オーバーレイ測定装置製品写真
図14. その他サポート測定装置の製品写真
図15. 2026年タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図16. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図17. アクティニックEUV検査製品写真
図18. CD-SEM測定製品写真
図19. AFM / プローブ測定製品写真
図20. X線 / 軟X線測定製品写真
図21. その他製品写真
図22. 2026年測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図23. 測定技術別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図24. インライン測定装置製品写真
図25. オフラインレビュー装置製品写真
図26. 2026年設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図27. 設備配置モード別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図28. マスクブランク検証におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置消費
図29. マスクブランク検証市場：グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）および台数
図30. リソグラフィプロセスセットアップにおけるEUVリソグラフィ測定・検査装置消費
図31. リソグラフィプロセスセットアップ市場：グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）および台数
図32. ハイNA EUVプロセス開発におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置消費
図33. ハイNA EUVプロセス開発市場：グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）および台数
図34. その他におけるEUVリソグラフィ測定・検査装置消費
図35. その他市場：グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）および台数
図36. 2025年用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図37. 2025年用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア
図38. 2025年企業別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（台数）
図39. 2025年企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図40. 2025年企業別EUVリソグラフィ測定・検査装置収益（百万ドル）
図41. 2025年企業別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア
図42. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図43. 2025年地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア
図44. 米州EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）（台数）
図45. 米州EUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）（百万ドル）
図46. APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）（台数）
図47. APAC EUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）（百万ドル）
図48. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）（台数）
図49. 欧州EUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）（百万ドル）
図50. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置販売（2021年-2026年）（台数）
図51. 中東・アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置収益（2021年-2026年）（百万ドル）
図52. 2025年米州国別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図53. 米州国別EUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図54. 米州タイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図55. 米州用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図56. 米国EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図57. カナダEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図58. メキシコEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図59. ブラジルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図60. 2025年APAC地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図61. APAC地域別EUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図62. APACタイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図63. APAC用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図64. 中国EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図65. 日本EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図66. 韓国EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図67. 東南アジアEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図68. インドEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図69. オーストラリアEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図70. 台湾（中国）EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図71. 2025年欧州国別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図72. 欧州国別EUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア（2021年-2026年）
図73. 欧州タイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図74. 欧州用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図75. ドイツEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図76. フランスEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図77. 英国EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図78. イタリアEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図79. ロシアEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図80. 2025年中東・アフリカ国別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア
図81. 中東・アフリカタイプ別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図82. 中東・アフリカ用途別EUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア（2021年-2026年）
図83. エジプトEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図84. 南アフリカEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図85. イスラエルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図86. トルコEUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図87. GCC諸国EUVリソグラフィ測定・検査装置収益成長（2021年-2026年）（百万ドル）
図88. 2026年EUVリソグラフィ測定・検査装置製造コスト構造分析
図89. EUVリソグラフィ測定・検査装置製造プロセス分析
図90. EUVリソグラフィ測定・検査装置産業チェーン構造
図91. 流通チャネル
図92. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場予測（2027年-2032年）
図93. 地域別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア予測（2027年-2032年）
図94. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア予測（2027年-2032年）
図95. タイプ別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア予測（2027年-2032年）
図96. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置販売市場シェア予測（2027年-2032年）
図97. 用途別グローバルEUVリソグラフィ測定・検査装置収益市場シェア予測（2027年-2032年）
| ※EUVリソグラフィ測定・検査装置は、半導体製造において極めて重要な役割を果たします。EUVは「極端紫外線」を指し、波長が約13.5ナノメートルの光を用いて微細なパターンをシリコンウェハー上に形成するリソグラフィ技術です。この技術は、トランジスタや配線をさらに微細化することで、集積回路の性能向上を実現します。 EUVリソグラフィ装置の測定・検査には、さまざまな種類が存在します。主な機器としては、EUV露光装置、EUV検査装置、計測器などが挙げられます。EUV露光装置は、光源から出た極端紫外線を用いて、フォトレジストに露光し、パターンを形成します。一方、EUV検査装置は、形成されたパターンが正確であるかを確認するために使用され、欠陥や異常がないかを検出します。計測器は、露光したパターンの寸法や形状を測定し、製造プロセスが正確に行われているかを確認する役割を担います。 これらの装置は、半導体チップの重要な品質検査を行うだけでなく、製造プロセスの最適化にも寄与します。EUVリソグラフィは、従来の光リソグラフィ技術に比べてはるかに短い波長を使用しているため、より微細なパターンを高解像度で形成することが可能です。これにより、トランジスタの集積度を高め、消費電力の低減を実現することができます。 EUVリソグラフィ技術を支える関連技術も多岐にわたります。その一つが、EUV光源技術です。EUV光は、特定の条件下で生成され、特に高い出力と安定性が要求されます。次に、光学系技術も重要です。EUV光は短い波長のため、従来のガラスレンズを使用できず、特殊な金属ミラーが用いられます。また、空気中での伝播が困難であるため、真空環境下での使用が必須です。この厳しい光学設計がEUV技術の難しさを示しています。 さらに、フォトレジスト材料の開発も重要です。EUVリソグラフィでは高感度で高解像度のフォトレジストが必要であり、新しい化学材料が研究開発されています。これにより、微細なパターンを高精度で形成することが可能になります。加えて、EUVリソグラフィ用のマスク技術も欠かせません。EUVマスクは、反射型マスクを用いており、正確なブランク（マスク基板）の製造が要求されます。 これらの技術が融合することで、EUVリソグラフィの検査と測定装置は、半導体製造において高い品質基準を実現しています。具体的には、自動化された高度な検査装置により、製造ラインの生産性を向上させることができます。また、計測器の進化により、従来では難しかった微細な欠陥の検出も可能になりました。これにより、製品の歩留まりが向上し、コスト削減にも寄与しています。 EUVリソグラフィ装置は、開発が進むにつれて、その性能と精度が向上しており、ますます高度な半導体技術に貢献しています。今後もこの技術は、5G通信やAI、自動運転技術など、さまざまな分野でますます重要な役割を果たすことでしょう。さらに、新たな材料や技術の開発が進むことで、EUVリソグラフィ測定・検査装置の可能性はまだまだ広がります。半導体業界の発展は、この技術に大きく依存していると言えるでしょう。業界全体が、微細化、集積化、性能向上を追求する中で、EUVリソグラフィはますます不可欠な技術となっていきます。 |
• 日本語訳：EUVリソグラフィ測定・検査装置のグローバル市場予測2026-2032（種類別：EUVマスク検査装置、ウェーハCD計測装置、オーバーレイ計測装置、その他の補助計測装置)
• レポートコード：MRCLPR8NB00497 ▷ お問い合わせ（見積依頼・ご注文・質問）